这组词语均有"终于"之意，但有区别：finally的用法有二：
一是用来表示某一动作发生的顺序是在最后。如：
Finally, he turned off the lights and locked the door.最后他关上了灯，锁好门。
二是用在句中动词前，表示等了好久，"终于......"。如：
We waited and waited， and they finally arrived. 我们等了又等，他们终于来了。
at last是表示经过一番曲折或努力之后才发生某事，强调其结果，其语气和感情色彩较强。如：
At last the project has been completed and we can rest. 最后这项工程竣工了，我们可以休息了。